Лазерная прецизионная микрообработка материалов; Физматлит, 2017

В настоящей монографии вниманию читателей представляется современное состояние фундаментальных исследований и промышленных достижений в области прецизионной лазерной обработки широкого круга металлических, полупроводниковых и диэлектрических материалов. Анализируются возможности микрообработки импульсным наносекундным излучением лазера и лазерных систем на парах меди. Рассмотрены конструкции и принципы действия нового поколения этого класса промышленных лазеров номинальной мощностью излучения 1-20 Вт и мощностью 30-100 Вт, пути повышения их эффективности и надежности, а также созданной на их основе серии современных автоматизированных технологических установок для микрообработки фольговых (0,01-0,2 мм) и тонколистовых (0,2-1,0 мм) материалов, в частности, изделий электронной техники. Представлены различные примеры прецизионных деталей, изготовленных на созданном оборудовании. Монография полезна специалистам, инженерам, студентам и аспирантам, работающим и обучающимся в области лазерной техники и оптики, лазерных и информационных технологий.